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(首圖來源:中國杭州人民政府)
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中國受美國出口管制影響,
浙江大學余杭量子研究院研發的 100kV 電子束(EBL)曝光機「羲之」,號稱性能已能媲美國際主流設備,哈爾濱團隊之前研發出能產生 13.5 奈米 EUV 光的 LDP 光源 ,【代妈公司】
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